金属化薄膜电容的基础材料
薄膜是电容器主要介质材料,而在其上的蒸镀的金属材料是电容器的极板,对于低压电力电容器,基膜与蒸镀极板是决定金属化电容器性能的2个至关重要的因素。薄膜金属化层的设计与加工对于制造各类金属化薄膜电容器尤为重要。
目前国内外基本上采用 铝金属化膜 和 锌铝金属化膜 2种薄膜。
金属化膜电极镀层的金属以锌和铝为主,其中金属锌具有良好的导电性能,当锌层暴露在空气中能在很短的时间内氧化成ZnO。ZnO是一种半导体物质,并且很疏松,在温湿条件下,会加速镀层氧化,往往几天内就破坏整个镀层。但锌金属化膜,在直流高压大电流下工作,其容量的损失及损耗的增加几乎可忽略不计。
而金属铝在薄膜基材上的附着力强,生产过程易于处理,由于铝层表面与空气中的氧发生化学反应生产了致密的氧化物,这种以Al2O3为主要成分的致密层阻值了内层被继续氧化,所以镀铝金属化薄膜能存放相当常的时间,也不会因氧化引起其电特性参数的变化,因而Al金属化得到广泛的应用。但是Al金属化膜的耐压强度低,在直流电场的作用下,基膜易发生击穿,导致容量衰减,损耗增大,其缺点也日益暴露出来。